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紅外線溫度感測器|半導體應用

半導體產業的產品與製程

半導體產業是一個快速成長的市場,對其產品(如光伏電池、微晶片、LED 和雷射)的性能和生產成本的要求不斷提高。

生產這些產品的製程鏈包括提取晶格盡可能完美的純半導體基板及其進一步加工。

這種進一步的加工包括晶圓的熱處理和塗層。


製程溫度是半導體的決定性生產因素。

在晶體生長和晶圓加工中,必須遵守特定的溫度範圍,以避免缺陷, 從而達到高良率。



KELLER ITS 在精確光學溫度測量方面擁有 50 多年的經驗,並為半導體行業的各種製程提供特殊的高溫計。





Keller 紅外線高溫計

Keller 紅外線高溫計

非接觸式溫度測量
測量範圍-30°C 至 2500°C
高溫計-Si 和 SiC 晶體生長

高溫計-Si 和 SiC 晶體生長

專為 Si 和 SiC 晶體生產中的光學溫度測量而開發
此校準特別適合生長過程
半導體應用,晶體生長溫度測量紅外線儀

半導體應用,晶體生長溫度測量紅外線儀

晶體生長和晶圓加工中的光學溫度測量