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  • 高溫計-Si 和 SiC 晶體生長

高溫計-Si 和 SiC 晶體生長

型號 : CellaCrystal PX 44
專為 Si 和 SiC 晶體生產中的光學溫度測量而開發
此校準特別適合生長過程

CellaCrystal PX 44 專為 Si 和 SiC 晶體生產中的光學溫度測量而開發。

此校準特別適合生長過程。

由於混合訊號評估在整個測量範圍內具有恆定的 < 0.1 K 的高分辨率,並且得益於均勻的光感測器技術具有非常高的長期穩定性,該設備滿足了所需測量精度的高要求。



特殊功能:

測量範圍 750 至 3,000 °C

PX 44 AF 4:用於生產矽晶體的特殊校準

PX 44 AF 4:用於碳化矽生產的特殊校準

混合訊號評估以實現高計量分辨率

由於自熱極小,因此具有較高的長期穩定性

可聚焦鏡頭,用於精確調整測量距離

標準功能:IO-LINK 介面和類比輸出

測量溫度

750 - 3000 °C子範圍

感應器

雙光電二極體

光譜範圍

0.95 / 1.05微米

響應時間t98

測量範圍750 - 2400 °C: ≤ 10 ms (T > 950 °C) 

測量範圍850 - 3000 °C: ≤ 10 ms (T > 1050 °C )         

測量不確定度         

750 – 850 °C: 6 K

850 – 1,500 °C: 0.35%溫度。讀數[°C] + 2 K

1,500 – 2,400 °C: 0.5%溫度。讀數[°C] + 2 K

2,400 – 3,000 °C: 1%溫度。讀數[°C] + 2 K

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