產品介紹

1. 接觸式測量以最大限度地減少熱偏移
2. 尺寸小巧，便於安裝和集成
3. 適用於各種蝕刻和晶圓製造製程的高精度和極端溫度控制
4. 經驗豐富的應用工程師提供支持，為原始設備製造商定制探針

規格

頻道數量： 最多 5

準確性： ± 0.15 °C

噪音（°C）： 0.1℃

測量範圍： -200 至 450

通訊介面： 乙太網路

讀取速度（赫茲）： 2至50

感測器數量： 最多 5