• 雙壓式濕度校正產生器

雙壓式濕度校正產生器

精確產生濕度控制氣體流量
•高精度雙壓雙溫原理
•流量高達每分鐘100升
•控制%RH,露點,或其他濕度參數
•同時測量最多3個外部溫度感測器
•氣體使用點的壓力和溫度的測量
型號 : G2

G2產生高精度的濕度值,基於RH系統獨特的混合組合NIST已證明的“雙壓力”和“雙溫度”濕度產生技術。
它提供了一個加濕氣流,精確控制到各種用戶選擇的濕度參數,如%RH,露點,霜點,ppm,或蒸汽壓力。
通過精確測量加濕氣體使用點的溫度和壓力,G2自動調整動態條件的變化,如熱負荷或環境壓力的變化。

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高流量:
随着流量容量高达100标准升每分钟,G2确保您的外部体积或测试室迅速达到稳定,均匀的湿度条件的基础上,您定义的RH或露点设置。

立外部溫度連接:
三個獨立的外部溫度連接允許在三個完全獨立的溫度下測定%RH。通過將高流量的氣流分成三個獨立的腔體,每個腔體控制在不同的溫度下,將產生三個獨特的%RH值。G2根據三個外部溫度測量值分別計算這三個腔室的相對濕度。或者,在一個箱內安裝三個溫度探頭來測量溫度的均勻性及其在%RH上的結果。

雙壓雙溫濕度校正產生技術:
利用獨特的雙重壓力和雙重溫度技術的好處,濕度是通過在已知的溫度和壓力下充分飽和氣體,然後將壓力降低到一個較低的值(通常是環境壓力)和冷卻或升溫到一個備用溫度來產生的。
這種混合技術產生的濕度僅由溫度和壓力的測量來確定,而不依賴於氣體中水蒸氣含量的測量。
與RH系統的混合濕度產生技術,G2是一個真正的濕度參考儀器,適用於高精度校正,產品調節和測試應用。

1.生產濕度感測器校正

2.半導體製造和光刻過程中的濕度控制

3.在現有的溫度箱中增加濕度控制

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