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◇半導體產業的產品與製程
半導體產業是一個快速成長的市場,對其產品(如光伏電池、微晶片、LED 和雷射)的性能和生產成本的要求不斷提高。
生產這些產品的製程鏈包括提取晶格盡可能完美的純半導體基板及其進一步加工。這種進一步的加工包括晶圓的熱處理和塗層。
◇溫度測量的重要性
製程溫度是半導體的決定性生產因素。
在晶體生長和晶圓加工中,必須遵守特定的溫度範圍,以避免缺陷,從而達到高良率,因此,即時溫度測量至關重要。
使用高溫計進行光學溫度測量是透過半導體的紅外線輻射快速確定精確製程溫度(無需接觸)的理想方法。
要求嚴格的多種測量任務需要優化客製化的高溫計解決方案。
▲晶體生長 ▲晶圓加工
◇KELLER 的高溫計
KELLER ITS 在精確光學溫度測量方面擁有 50 多年的經驗,並為半導體行業的各種製程提供特殊的高溫計。